Puces à façon

Fabrication de surfaces microstructurées à façon

Puces à façon

Nous proposons un service pour la production de vos patterns ou puces microfluidiques.
En fonction du motif à réaliser, différentes possibilités sont envisagées tels que la lithographie, (structures sur différentes résines potosensibles) la gravure humide sur verre et le dépôt de couche métallique (Chrome-Etching).

La Lithographie

Après la préparation de la surface, une couche de résine photosensible est déposée de façon uniforme. Un recuit (soft-bake) permettant d'évaporer les solvants est alors effectué afin de préparer l'insolation. Celle-ci est ensuite insolée suivant un schéma précis.
La phase finale concerne le développement de la résine insolée. Un second recuit (hard-bake) permet de stabiliser le pattern sur le substrat.
Exemple d'application: Moule en PDMS pour le micro-contact printing.

Nous consulter pour les dimensions des patterns (hauteur de la résine et largeur des canaux).

La gravure humide

Après les étapes citées ci-dessus, nous réalisons la gravure de la structure sur le verre par attaque chimique.
Exemple d'application: Fabrication de micro-canaux pour circuit microfluidique ou de cale d'étalon.

Nous consulter pour la taille des structures (largeur et profondeur des micro-canaux).

La gravure humide sur couches métalliques

Une couche de chrome peut être déposée par évaporation sur l'échantillon. Les microstructures sont réalisées par gravure humide au travers de la couche métallique. Ces supports permettent de réaliser des attaques chimiques profondes.
Exemple d'application: Fabrication de mires pour l'optique.

Nous consulter pour le type de métal, l'épaisseur de la couche déposée et la largeur des micro-canaux.

Référence	Désigantion
LC-22x22	Lithographie sur lame de verre.Microstructures selon votre pattern
WEC-22x22	Gravure humide sur verre. Microstructures selon votre pattern
CEC-22x22	Chrome Etching. Support en verre. Microstructures selon votre pattern